产品名称 | 化学式 | 纯度 | 规格 | 阀门 | 充装量 |
一氧化碳 | CO | 5N | 40L | DISS724 | 5M3 |
硅烷 | SiH4 | 6N | 47L/Y | CGA632 | 10Kg/120Kg |
笑气 | N2O | 5N | 47L | DISS712 | 30Kg |
六氟乙烷 | C2F6 | 5N | 44L/47L | CGA660/DISS716 | 40Kg |
氨气 | NH3 | 7N | 47L/T | CGA660/DISS720 | 20Kg/480Kg |
甲烷 | CH4 | 5.5N | 47L | CGA350 | 8.6M3 |
氯化氢 | HCl | 5N | 44L | CGA330/DISS634 | 25Kg |
溴化氢 | HBr | 5N | 44L | CGA330/DISS634 | 25Kg |
硅烷 | HBr | 5N | 44L | CGA330/DISS634 | 25Kg |
一氧化二氮 | N2O | 5N | 47L/Y | DISS712 | 30Kg |
三氯化硼 | BCl3 | 5N | 44L | CGA660 | 50Kg |
四氟化碳 | CF4 | 5N | 44L | CGA320/DISS716 | 31Kg |
三氟化氮 | NF3 | 4N | 47L | DISS640 | 20Kg |
六氟化硫 | SF6 | 5N | 47L | DISS716 | 50Kg |
三氟甲烷 | CHF3 | 5N | 44L | DISS716 | 32Kg |
八氟环丁烷 | 5N | 44L | DISS716 | 50Kg | |
三甲基硼烷与硅烷混合气 | 47L | DISS632 | 与浓度相关 | ||
三甲基硼烷与氢气混合气 | 47L | DISS632 | 与浓度相关 | ||
磷烷于氢气混合气 | 47L | DISS632 | 12-15Mpa | ||
磷烷与氮气混合气 | 47L/Y | DISS632 | 12-15Mpa | ||
磷烷与氩气混合气 | 47L | DISS632 | 12-15Mpa | ||
磷烷与硅烷混合气 | 47L | DISS632 | 与浓度相关 | ||
硅烷与氦气混合气 | 47L/44L | DISS632/CGA350 | 12-15Mpa | ||
硅烷与氢气混合气 | 47L/44L | DISS632/CGA350 | 12-15Mpa | ||
硅烷与氮气混合气 | 47L/44L | DISS632/CGA350 | 12-15Mpa | ||
硅烷与氩气混合气 | 47L/44L | DISS632/CGA350 | 12-15Mpa | ||
乙硼烷与氢气混合气 | 40L/44L | DISS632/CGA350 | 12-15Mpa |